Universiteit Twente, MESA+ Research Institute Nanolab

Ontworpen voor precisie, flexibiliteit en geavanceerd halfgeleideronderzoek

Het nieuwe Nanolab, gebouwd voor het MESA+ Research Institute aan de Universiteit Twente, ondersteunt toonaangevend halfgeleideronderzoek door de TNW- en EWI-groepen in Enschede. Door de snel veranderende aard van het onderzoek werden er hoge eisen gesteld aan de aanpasbaarheid van de onderzoeksomgeving voor toekomstige apparatuur.

Het gebouwontwerp werd gekenmerkt door de vele verschillende technische faciliteiten. Zo waren er voor de procesapparatuur meer dan 30 verschillende soorten gas nodig, diverse soorten water en specifieke klimaatbeheersing. Naast de logistieke en functionele eisen van de apparatuur, waren stof- en trillingsbeheersing en Elektromagnetische Compatibiliteit (EMC) doorslaggevende factoren in het ontwerp van het Nanolab.

Oplossingen van Deerns

Deerns voerde de haalbaarheidsstudie, het ontwerp en de aanbestedingsondersteuning uit en hield toezicht op de gehele uitvoering. Deerns coördineerde het project volledig, inclusief kostenontwikkeling en -bewaking; ontwerp van het gebouw; ontwikkeling van het lab- en cleanroomconcept; ontwerp van de werktuigbouwkundige, elektrotechnische, proces- en transportinstallaties; en alle procesgerelateerde en technische ruimten. Bij al deze onderdelen was Deerns vanaf de projectdefinitie tot en met de nazorg betrokken.